深圳市金徕技术有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
型 号 | JL-RR12 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~1000W可调 | ||
选 配 | |||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 316L不锈钢、航空铝（选配） |
腔体内部尺寸 | 360*800*650（宽*高*深(MM)) | ||
腔体容积 | 135L | ||
处理最大尺寸 | 12英寸 | ||
密封性 | 军工级焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨泵组合（选配） | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | ||
质量流量计 | ＜±1% FS | ||
气路控制 | 2-4路处理气体气路，气体流量可调 | ||
极限真空 | 5Pa | ||
适用气体 | 流量范围 | 0-500SCCM（可调） | |
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选） | ||
控制系统 | 1、PLC 自动控制； | ||
2、7寸触摸屏,图形用户界面； | |||
3、配方程序为 0~99； | |||
4、多级权限操作； | |||
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； | |||
6、存储工艺数据及错误信息； | |||
7、报警信息提示及追溯； | |||
8、图形化界面检测处理参数； | |||
9、自动、手动操作可切换； | |||
10、维护提示紧急停止按钮； | |||
11、门感应器和真空互锁； | |||
12、机器运行信号指示； | |||
13、机器运行结束提示； | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840(宽高深） | |
重 量 | 280KG | ||
设施配置 | 电 力 | 五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定 | |
压缩空气 | 干燥压缩空气CDA | ||
其 它 | 提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单. | ||
质保、售后服 务和技术支持 | 质 保 | 一年免费的维保和备件免费更换 | |
技术支持 | 接到设备故障通知1个小时内提供远程技术支持，对远程无法定位解决的问题，提供现场维修服务 | ||
培 训 | 设备正式试用前，提供完整、免费的技术培训 | ||
对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。
对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除。适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗、镀膜。
