深圳市金徕技术有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
型 号 | JL-VM05 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.65MHz 射频 | |
功 率 | 300W （连续可调，精度为1W） | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石英 |
腔体内部尺寸 | φ155*260mm（直径*深度) | ||
腔体容积 | 5 L | ||
密封性 | 军工级焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
处理温度 | ＜60°C | ||
流量计 | 浮子流量计 | ||
气路控制 | 2路处理气体气路，气体流量可调 | ||
真空度 | 10Pa --100Pa | ||
工艺气体 | Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选） | ||
外观参数 | 外形尺寸 | 650*480*420mm（宽*深*高） | |
重 量 | 55kg | ||
设施配置 | 电 力 | 单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
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2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
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4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
