1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
型 号
JL-VM05
等离子源系统
频 率
13.65MHz 射频
功 率
300W （连续可调，精度为1W）
真空系统
真空腔体
材质
石英
腔体内部尺寸
φ155*260mm（直径*深度)
腔体容积
5 L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
处理温度
＜60°C
流量计
浮子流量计
气路控制
2路处理气体气路，气体流量可调
真空度
10Pa --100Pa
工艺气体
Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选）
外观参数
外形尺寸
650*480*420mm（宽*深*高）
重 量
55kg
设施配置
电 力
单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
