PTFE(聚四氟乙烯/特氟龙/铁氟龙)等离子蚀刻机

产品型号 JL-VM200
产品类别 定制等离子表面处理设备
应用范围 PTFE材料表面清洗、刻蚀、活化、接枝等改性处理。

等离子清洗机对PTFE聚四氟乙烯等离子表面处理工艺，实现对PTFE聚四氟乙烯材料的表面清洗、刻蚀、活化、接枝等改性处理，改善与提升PTFE聚四氟乙烯和金属、塑胶、硅橡胶、陶瓷、金属及粘合剂等物质粘接时的附着力。

型号	JL-VM200
等离子源系统	频率		13.56MHz 射频	40KHz 中频
	功率		0~1000W可调	0-5000W可调
			选配
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢、航空铝（选配）
		腔体内部尺寸（MM）	500700600（宽高深)
		腔体容积	200L
		极板	22层，水平式，活动可调节
		密封性	军工级焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）
		真空管路	不锈钢管、不锈钢波纹管
	真空计		1×10⁵~1×10^-1Pa
	质量流量计		＜±1% FS
	气路控制		2-4路处理气体气路，气体流量可调
	极限真空		5Pa
适用气体	流量范围		0-500SCCM（可调）
	工艺气体		Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、报警信息提示及追溯；
	8、图形化界面检测处理参数；
	9、自动、手动操作可切换；
	10、维护提示紧急停止按钮；
	11、门感应器和真空互锁；
	12、机器运行信号指示；
	13、机器运行结束提示；
外观参数	外形尺寸(MM)		105017001080(宽高深）
	重量		800KG
设施配置	电力		五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定
	压缩空气		干燥压缩空气CDA
	其它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.

给物质施加高温或通过加速电子、加速离子等方式给物质提供能量, 中性的物质被电离成大量带电粒子 (电子、离子) 和中性粒子组成的混合状态称为等离子体。等离子体整体呈电中性, 它是除固态、液态、气态外的物质第四种状态。在所产生的等离子体中, 当电子温度与离子温度及气体温度相等时, 该等离子体称为平衡等离子体或高温等离子体;当电子温度远高于离子温度和气体温度时, 该等离子体为非平衡等离子体或低温等离子体。目前, 用于材料表面改性的主要是低温等离子体。

在材料表面改性中, 主要是利用低温等离子体轰击材料表面, 使材料表面分子的化学键被打开, 并与等离子体中的自由基结合, 在材料表面形成极性基团。由于表面增加了大量的极性基团, 从而能显著地提高材料表面的粘接性能、印刷性能、染色性能等。低温等离子体的能量一般为几到几十电子伏特 (电子0~20 eV, 离子0~2 eV, 亚稳态离子0~20 eV, 紫外光/可见光3~40 eV) , 而PTFE中C-F键键能为4.4 eV, C-C键键能为3.4 eV。由此可见, 低温等离子体的能量高于这些化学键的能量, 足以使PTFE表面的分子键断裂, 发生刻蚀、交联、接枝等一系列物理化学反应。

由于PTFE极低的表面活性和不粘性限制了它与其他复合材料的复合，特别是PTFE薄膜与其他骨架材料的粘结，因此必须对PTFE材料进行一定的表面改性，以提高其表面活性。

等离子表面处理使用氧气氩气，产生能量，当有足够的能量就可以打开PTFE聚四氟乙烯的碳氟键，同时又有活性基团替代掉氟原子时，PTFE聚四氟乙烯就会变成极性聚合物，表面能得到提升，亲水性得以改善。