电路板真空等离子清洗机用来对FPC/PCB、PTFE&聚四氟乙烯材料、化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁/清洗处理、活化处理、碳化处理等。处理后有效的提升产品表面的亲水性、附着力以及粘接力等。
1、便捷的收放板方式,方便人员操作。水平式电极，提升换板效率。
2、优良的冷却方式,深钻孔水流设计，消除冷却管道对电极板之间的遮挡，减短清洗时间。
3、软件控制界面简单易学。
外观参数
主机尺寸
1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高
重量
250Kg
安装面积
3500mm X 5500mm(含开门上下板位置)
电极
电极分布
垂直分布，每片电极独立冷却
托盘数量
16片
RF 电源系统
功率
10KW
频率
40KHZ
工艺气体控制系统
标准配置4路气体
一路2000sccms,三路5000sccms
软件控制系统
智能人机界面+PLC
真空泵系统
真空泵组
抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可选）
真空工作力
进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下，工作压力可控范围180-300mTorr
生产能力
生产板最大尺寸
25X44 inch （21*24 inch 30块/炉）
标准生产板厚度
0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具）
生产板最小尺寸
4 X 4inch
