卷对卷真空等离子清洗机用来对PI、PE、PET、PTFE、PU、PPS、PP、PPE、PPS、POM、Coverlay等卷式材料，钢带、铜箔、铝箔等卷型材表面进行清洁、清洗、粗化、活化、碳化处理。处理后有效的提升产品表面的亲水性、附着力以及粘接力等。
1、FPC 孔内除胶、表面清洁。
2、PI表面粗化及清洁。
3、电子材料表面粗化、清洁。
4、Coverlay表面粗化、清洁。
5、挠性材料的表面清洁。
1、针对卷材设计。
2、垂直式电极布置，保证双面处理均匀性。
3、恒张力，恒速度控制。
4、行进式纠偏机构。
5、运行过程实时监控，动画指示工作过程，一目了然。
6、设备操作权限分级管理，便于管控。
7、设备运行状态可追索，生产过程可管控。
8、设备参数可定制。
型 号
JL-RTR8000
设备主机
主机尺寸
1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高
重量
2550Kg
安装面积
3500mm X 5500mm(含开门上下板位置)
电极
电极分布
垂直分布，每片电极独立冷却
电极数量
16片
RF 电源系统
品牌/型号
AE 10KW
功率@频率
10KW @ 40KHZ
工艺气体流量控制系统
流量控制器
parker气体流量控制器
标准配置4路气体
一路2000sccms,三路5000sccms
软件控制系统
人机界面+PLC
真空泵系统
真空泵组
抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h （可选）
真空工作力
进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下，工作压力可控范围180-300mTorr
生产能力
生产板最大尺寸
25X44 inch （21*24 inch 30块/炉）
标准生产板厚度
0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具）
生产板最小尺寸
4 X 4inch
