| 型号 | JL-VMON135 | ||
| 等离子源系统 | 等离子发生器 | 频率：13.56MHZ；功率1000W可调 | |
| 真空系统 |
真空腔体 | 材质 | 316不锈钢 |
| 腔体内部尺寸 | 1250mm(长）*705mm（宽）*150mm（高） | ||
| 腔体容积 | 135L | ||
| 泵 | 真空泵组 | 机械泵+罗茨泵 | |
| 皮拉尼电阻式真空计 | 正华 | ||
| 质量流量计 | SEVENSTAR | ||
| 气路控制 | 标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂ | ||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | ||
| 电控系统 | 人机工控系统 | 自动+手动触控式全中文界面 | |
| PLC+触摸屏 | 顾美一体机 | ||
| 开关电源 | 台湾明伟 | ||
| 变频控制系统 | 根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定 | ||
| 软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式 配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控 |
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| 报警功能 | 真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警 （三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示） |
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| 进气系统 | 气体控制系统 | 日本SMC电磁阀 | |
| 气压监测系统 | 日本SMC减压阀、压力报警表 | ||
| 进气管路组件 | Φ8mm软管+不锈钢套管路 | ||
| 泄压系统 | 破真空组件 | 挡板阀+节流阀+消音器 | |
| 整机参数 | 外形尺寸（MM) | 640(宽）*750(深）*1700(高） | |
| 重量 | 130kg | ||
| 额定总功率 | 3KW | ||
