外延片等离子刻蚀机

对外延片、晶圆、塑料、金属材料等，进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀，实现各项异性刻蚀，保证细小图形转移后的保真性。

型号	JL-E30
等离子源系统	频率		13.56MHz 射频
	功率		0~500W 可调
真空系统	真空腔体	材质	石英、航空铝（选配）
		腔体内部尺寸(MM)	400200400
		腔体容积	30L
		极板	1层
		密封性	军工级焊接密封
	泵	真空泵	干泵
		真空管路	不锈钢管、不锈钢波纹管
	真空计		薄膜硅
	气体流量计		＜±1% FS
	气路控制		2路处理气体气路，气体流量可调
	极限真空		3Pa
适用气体	流量范围		0-500SCCM（可调）
	工艺气体		Ar、N₂O₂、H₂等等（可选）
控制系统	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、报警信息提示及追溯；
	8、图形化界面检测处理参数；
	9、自动、手动操作可切换；
	10、维护提示紧急停止按钮；
	11、门感应器和真空互锁；
	12、机器运行信号指示；
	13、机器运行结束提示；
外观参数	外形尺寸(MM)		6401700840 (宽高深）
	重量		280KG
设施配置	电力		五线，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
	压缩空气		干燥压缩空气CDA。
	其它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单。