| 整机机架规格 | |
外形尺寸 | 786×1895×813mm（宽×高×深） |
整机重量 | 650KG |
真空腔参数 | |
真空腔内部尺寸 | 180*230*1430MM (宽深高) |
真空腔容积 | 60L |
真空腔材料 | 316不锈钢 |
极板层数 | 可放两排产品 |
极限真空 | 5-100Pa |
真空腔门 | 航空铝 |
真空泵 | 油泵 |
技术参数 | |
一次最大产能 | 5根*2=10根 |
等离子功率 | 50~2000W可调 |
工艺气体 | 3路，其中一路可用氨气 |
气体流量 | 0~500SCCM/min |
清洗时间 | 1~99999秒可调 |
控制方式 | PLC+触控屏 |
输入电源 | AC380V，50/60Hz 16A |
冷却方式 | 风冷 |
上料夹具 | 2套 |
检测功能 | 气压检测、门检测 |
保护防护 | 过温防护、过载防护、短路、断路、各种误操作保护 |
