等离子清洗机的电源频率主要有三种，分别是40kHz、13.56MHz和2.45GHz，它们在多个方面存在显著的差别：
- 频率和应用场景：
- 40kHz：俗称中频电源，通常在5千瓦至20千瓦之间，被广泛应用于真空等离子清洗机设备中。其特点是能量高、密度低，穿透性较好，且生产成本较低。
- 13.56MHz：俗称射频电源，功率范围一般在100瓦至1000瓦，常用于大气等离子清洗机设备中。它的特点是等离子能量低，但等离子密度高，效果均匀，但成本稍高。
- 2.45GHz：这是微波等离子清洗机设备的频率，但由于微波成本太高，目前应用得较少。
- 自偏压和反应机制：
- 40kHz的超声等离子体自偏压为1000V左右，其发生的反应主要是物理反应，如表面除胶、毛刺打磨等处理。
- 13.56MHz的射频等离子体自偏压为250V左右，其发生的反应既有物理反应又有化学反应。
- 2.45GHz的微波等离子清洗机自偏压很低，只有几十伏，且主要发生的反应为化学反应。
- 放电现象和工艺处理温度：
- 在中频等离子清洗机中，由于中频电源直接输出到电极板的电压较高，其自偏压也较高，这可能导致正离子的功率吸收增加，从而引起电极板的温度升高。同时，由于离子吸收部分功率，用于电离的电子的功率吸收就相应地减少，导致等离子体密度较低而离子能量较高。
- 射频等离子清洗机的情况则有所不同。在射频容性耦合方式的放电过程中，电极板产生的自偏压受到放电气压的影响，但其中自偏压较小。电子的功率吸收主要来自于与电极板表面的震荡鞘层相互作用。因此，射频等离子清洗机的激发频率越高，电子的功率相对的也会越高，而离子轰击的能量就会降低，这使得工艺处理过程中的温度相对较低。
综上所述，选择哪种频率的等离子清洗机电源取决于具体的应用需求，包括处理材料、处理效果、成本预算等因素。
