等离子清洗机对玻璃表面的清洗, 除了机械作用外, 更主要是活性氧的化学作用, 等离子中激发态的Ar*, 使氧分子激发为激发态氧原子高能量电子撞击氧分子使其分解, 形成激发态氧原子沾污的润滑油与硬脂酸主要成分为碳氢化合物, 这些碳氢化合物为活性氧所氧化, 生成二氧化碳和水从而将油脂从玻璃表面上除去。
润滑油和硬脂酸是手机玻璃表面板最常见的沾污物质, 污染后玻璃表面对水的接触角增加, 影响到离子交换。传统的清洗方法工艺复杂且有污染。 手机面板等离子清洗机, 结构简单, 不需要抽真空, 室温下即可进行清洗, 所产生的激发态的氧原子比一般氧原子更具有活性, 可将污染的润滑油和硬脂酸中的碳氢化合物进行氧化, 生成二氧化碳和水。等离子体射流同时还具有机械冲击力, 起到了刷洗作用, 使玻璃表面污染物迅速脱离玻璃表面, 达到高效清洗的目的。
玻璃手机面板在化学钢化前的清洗过程是很复杂的。通过针状电极预电离产生的非平衡Ar/O2大气压等离子射流用作清洗过程是简便的。用接触角仪测定了玻璃面板沾污润滑油和硬脂酸对水的接触角。在等离子体射流清洗一段时间后对水的接触角显著地降低。扫描电镜的观察也验证了清洗的效果。
近年来国际上名牌手机均以玻璃为面板, 为了提高玻璃面板的强度和硬度, 通常采用化学钢化, 而在化学钢化前需要进行清洗, 如果清洗不良, 则影响增强效果。传统的清洗方法是先用洗涤剂刷洗, 再用酸液、碱液与有机溶剂超声波清洗, 工序复杂, 费时费工, 且造成污染。 低温等离子体空间富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基均为活性粒子, 易于和材料表面发生反应因而在灭菌表面改性薄膜沉积刻蚀加工器件清洗等领域得到广泛应用。
