1、FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污。
2、PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理。
3、碳化物去除。
4、化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁。
5、去除电镀夹膜。
外观参数 | |
主机尺寸 | 1860mm长 X 1470mm宽 X 2000mm高 |
重量 | 250Kg |
安装面积 | 3500mm X 5500mm(含开门上下板位置) |
电极 | |
电极分布 | 垂直分布,每片电极独立冷却 |
托盘数量 | 16片 |
RF 电源系统 | |
功率 | 10KW |
频率 | 40KHZ |
工艺气体控制系统 | |
标准配置4路气体 | 一路2000sccms,三路5000sccms |
软件控制系统 | |
智能人机界面+PLC | |
真空泵系统 | |
真空泵组 | 抽速能力1160 m3/h / 1900m3/h (可选) |
真空工作力 | 进气氧气流量2.5-3.0L/min状态下,工作压力可控范围180-300mTorr |
生产能力 | |
生产板最大尺寸 | 25X44 inch (21*24 inch 30块/炉) |
标准生产板厚度 | 0.1-9mm(0.5以下薄板需定制软板夹具) |
生产板最小尺寸 | 4 X 4inch |
1、便捷的收放板方式,方便人员操作。水平式电极,提升换板效率。
2、优良的冷却方式,深钻孔水流设计,消除冷却管道对电极板之间的遮挡,减短清洗时间。
3、软件控制界面简单易学。
电路板真空等离子清洗机用来对FPC/PCB、PTFE&聚四氟乙烯材料、化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁/清洗处理、活化处理、碳化处理等。处理后有效的提升产品表面的亲水性、附着力以及粘接力等。