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当可燃物与氧化剂接触时,平板等离子蚀刻机温度达到着火点并产生火焰。有些材料在燃烧时,还会产生一些小的固体颗粒,这些颗粒与火焰中上升的热气混合在一起。不同的材料燃烧时,火焰的颜色也会有所不同。温度越高,火焰中粒子的电离程度越高。火焰的温度一般很高,属于高温等离子体。一些因为电离太低而冷的火焰不能被认为是完全(完全)等离子体,而只是处于激发态(原子或分子处于高度激发态)。在吸收能量后的能级上,还没有被电离)热气体。

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通常,物质以三种状态存在:固体、工业和气体,但在某些特殊情况下,在这些条件下,它会移动到另一种状态,例如太阳表面的物质或大气中的离子物质。可能性。这种物质状态称为等离子体状态,也称为物质的第四状态。低温等离子体是指低压放电(辉光、电晕、高频、微波)等)的电离气体。 )。在电场的作用下,气体中的自由电子从电场中获得能量,成为高能电子。

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