离子与物体表面的作用： 通常指的是带正电荷的阳离子的作用，亲水性材料带什么电荷阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向，此时使物体表面获得相当大的动能，足以撞击去除表面上附着的颗粒性物质，我们在这种现象称为溅射现象，而通过离子的冲击作用可极大促进物体表面化学反应发生的几率。
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氩气和氦气性质稳定，并且放电电压低（氩原子的电离能E为15.57eV）易形成亚稳态的原子，一方面利用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件,Ar+轰击污物形成挥发性污物被真空泵抽走，避免了表面材料发生反应；另一方面利用氩气易形成亚稳态的原子，再与氧气氢气分子碰撞时发生电荷的转换和再结合，形成氧氢活性原子作用于物体表面。
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