1、小技巧、操作简单、易维护。

2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。

3、进口针阀精密流量控制计，精度高。

4、石英材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。

5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。

6、可以根据客户需求定制。

型号	JL-VM10
等离子源系统	频  率		13.56MHz  射频
	功  率		0-300W （连续可调，精度为1W可在设备运行中随时调整）
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢
		腔体内部尺寸(MM)	200*270*200（长*宽*深)
		腔体容积	10L
		密封性	军工级焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵（选配）
	处理温度		＜60°C
	流量计		0-500ml/min
	气路控制		2路处理气体气路，气体流量可调
	真空度		5--50Pa
	工艺气体		Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）
控制系统	1、PLC 自动控制；
	2、7寸触摸屏,图形用户界面；
	3、配方程序为 0~99；
	4、多级权限操作；
	5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
	6、存储工艺数据及错误信息；
	7、报警信息提示及追溯；
	8、图形化界面检测处理参数；
	9、自动、手动操作可切换；
	10、维护提示紧急停止按钮；
	11、门感应器和真空互锁；
	12、机器运行信号指示；
	13、机器运行结束提示；
外观参数	外形尺寸(MM)		500*550*800 (宽高深）
	重  量		65KG
设施配置	电  力		单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
	压缩空气		无
	其  它		提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.