序号 |
系统组成 |
主要明细 |
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1 |
真空部分 |
真空腔材质 |
316L不锈钢 |
真空腔内部尺寸 |
250*220*200mm（宽*深*高） |
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真空腔容积 |
10L |
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极板 |
3层，水平式，活动可调节 |
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物料托盘 |
2层，有效尺寸：190×120mm |
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真空计 |
日本爱发科 |
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真空泵 |
德国爱德华 |
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质量流量计 |
七星华创 |
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气路控制 |
2路处理气体气路，气体流量可调 |
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真空管路组件 |
全不锈钢管路+波纹管 |
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工作真空度 |
5pa-30pa |
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2 |
放电系统 |
等离子发生器 |
频率：13.56MHZ;功率600W可调 |
3 |
电控系统 |
人机工控系统 |
自动+手动触控式全中文界面 |
PLC+触摸屏 |
德国西门子+MCGS |
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开关电源 |
台湾明伟 |
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软件程序 |
自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式，配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控 |
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变频控制系统 |
根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定 |
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报警功能 |
真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警 |
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报警方式 |
三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示 |
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4 |
进气系统 |
气体控制系统 |
MFC两路精准控制（七星华创） |
气压控制系统 |
日本SMC电磁阀 |
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气压监测系统 |
日本SMC减压阀、压力报警表 |
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进气管路组件 |
Φ8mm软管+不锈钢套管路 |
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5 |
泄压系统 |
破真空组件 |
挡板阀+节流阀+消音器 |
6 |
整机参数 |
外形尺寸(MM) |
550(宽）*650(深）*1450(高） |
重 量 |
200KG |
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