1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
对材料表面去油及清洁、灰化表面有机层，材料表面氧化物去除, 焊接前清洁基材表面，应用于金属材料、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁 ,印刷、喷涂、电镀前表面清洁，提升产品亲水性。
型 号
JL-VMS05
等离子源系统
频 率
13.65MHz 射频
功 率
300W （连续可调，精度为1W）
真空系统
真空腔体
材质
石英
腔体内部尺寸(MM)
D155*260（直径*深度)
腔体容积
5 L
密封性
军工级焊接密封
泵
真空泵
油泵/干泵
处理温度
＜60°C
流量计
0-500ml/min
气路控制
标配2路(可定制)
真空度
5Pa --30Pa
工艺气体
Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选）
控制系统
1、PLC 自动控制；
2、4.3寸触摸屏,图形用户界面；
3、配方程序为 0~99；
4、多级权限操作；
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；
6、存储工艺数据及错误信息；
7、报警信息提示及追溯；
8、图形化界面检测处理参数；
9、自动、手动操作可切换；
10、维护提示紧急停止按钮；
11、门感应器和真空互锁；
12、机器运行信号指示；
13、机器运行结束提示；
外观参数
外形尺寸(MM)
650*420*480(宽*高*深）
重 量
55KG
设施配置
电 力
单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。
压缩空气
无
其 它
提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.
