这些离子具有很高的活性，电晕机的构造黑色其能量足以破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的电晕具有不同的化学性质。例如，氧电晕氧化性高，可氧化光刻胶产生气体，从而达到清洗效果。腐蚀气体的电晕具有良好的各向异性，可以满足刻蚀的需要。电晕处理会发出辉光，故称辉光放电处理。辉光放电时，电子和正离子在放电管两极电场的作用下分别向阳极和阴极移动，在两极附近堆积形成空间电荷区。
2.关闭所有气体。3.准备所需的工具箱。真空室及真空发生系统的维护a.真空腔和电极板是加工工件的工作区域。使用一定时间，电晕机的高压变压器维修腔内会残留一些污垢，附着在电极板和腔壁上。处理方法：连续使用一个月后，用无尘布（纸）蘸酒精清洗所有电极板和腔壁，保持腔体清洁。b.观察窗是工作人员工作时用来观察腔内放电情况的。使用一段时间后，观察窗玻璃表面会有轻微侵蚀，变得模糊不清。
这是因为温度过高或时间过长后，电晕机的构造黑色当焊料由固态熔化为液态时，一方面会发生气化，导致焊料内部形成蜂窝状结构，降低（低）钎焊强度；另一方面，石墨颗粒会侵入熔融焊料，漂浮在焊料表面。焊料冷却后，一部分被焊料包裹，另一部分漂浮在焊料表面，在电镀前处理过程中无法去除。因此，镀镍、镀金后有石墨颗粒的地方会产生气泡。这种石墨颗粒气泡是常规电镀预处理工艺无法解决的。
而且对材料表面的作用仅触及数百纳米，电晕机的高压变压器维修基体功能不受影响。它开创了金属生物材料表面改性的新途径，在生物医学领域越来越受到重视。低温电晕的电子能量一般在几到几十电子伏特左右，高于聚合物中常见的化学键能。因此，电晕在足够的能量下可以引起聚合物中的各种化学键断裂或重新结合。表现为大分子降解，材料表面在电晕作用下与外来气体和单体发生反应。
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顾名思义，由于其应用于生物医学工程领域，不仅要求材料力学等基本性能，还要求材料在特殊应用环境下的生物相容性、稳定性等多方面的预期性能。电晕设备中的电晕浸渍离子注入沉积作为微电子工业中形成的技术，因其在材料加工制造方面的优异性能，被引入生物医学工程材料制造领域。
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