在离子增强蚀刻中，电晕处理机不产生火花当高能粒子撞击表面时，表面会形成缺陷、位错或悬浮物。这些缺陷增加了表面的化学蚀刻速率，使蚀刻过程同时具有选择性和方向性。在所有这些清洗过程中，碳氢化合物与基底之间的键合被削弱，获得的能量导致这些有机络合物从基底上分离。一旦从化合物的分子基团中分离出来，就会被惰性气体带走。电晕产生的光辐照与中性粒子流和带电粒子轰击相结合键的断裂提供能量。
当气体越来越稀薄时，电晕处理机触发板线路图分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长，它们碰撞形成电晕，会发出辉光，所以称为辉光放电处理。电晕发生器的形成机理包括电离反应、带电粒子传输和电磁运动学。电晕发生器的形成和气化过程中伴随着电子、粒子和中性粒子的碰撞反应。电晕中粒子的碰撞会形成活性组分。
非平衡电晕处理技术用于污染控制电晕辅助处理技术可以减少大气污染对环境的破坏。电晕可以产生大量的活性成分。与传统的热激发法相比，电晕处理机触发板线路图电晕处理工艺可以提供更多的反应消解途径。非平衡电晕中电子的能量分布不同于重粒子，它们处于不平衡状态，因此可以认为含有电子的气体温度远高于含有中性粒子和离子的气体。因此，可以引导高能电子通过碰撞激发气体分子，或分解电离气体分子。
在清洗过程中，电晕处理机不产生火花电晕可以增强这些材料的附着力、相容性和润湿性。目前，电晕表面处理器可广泛应用于光电子、高分子材料、生物医药等领域。电晕发生器生产能力在线，并可实现自动清洗。
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电晕表面清洗可以去除污垢层、不需要的聚合物涂层和一些加工聚合物的弱边缘2.聚合物表面复合：用于电晕烧蚀的惰性气体破坏聚合物表面的共价键，使聚合物表面出现独立的官能团，并与聚合物链中的独立官能团重新结合，形成原有的聚合物结构。在聚合物链中，能量基团形成附近具有独立官能团的键或链，聚合物表面重组可以提高表面硬度和耐化学性。3.聚合物的表面改性。
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