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有机化合物表面的润湿性对颜料、墨水、粘合剂等的粘结性、材料表面的闪光电压和表面泄漏电流等电气性能有很大影响。测定润湿性的量称为接触角。②等离子体蚀刻机增强附着力。用等离子体活化气体处理一些聚合物和金属后,可以增强材料和粘合剂的结合强度。原因可能是聚合物表面的交联增强了边界层的附着力;或者在等离子体处理过程中引入偶极子,提高了聚合物表面的附着强度;也可能是等离子体处理消除了聚合物表面的污垢,改善了附着条件。
伴随着电子光学产业链的迅速发展,等离子体清洗机技术在半导体芯片的使用越来越多。 跟随半导体技术的飞速发展,对工艺技术的标准愈来愈高,尤其是半导体材料圆片的表面质量。圆片表面的颗粒和金属杂物污染会严重影响设备的质量和合格率。在目前的集成电路生产中,由于圆片表面污染,仍有五十%以上的材料丢失。 等离子体发生器在半导体材料晶圆清洗过程中的使用。 等离子体发生器工艺简单,操作方便,无废物处理和环境污染。
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