等离子清洗设备能加高温吗？

集成电路生产工艺需求，前期芯片制造，后期封装及混合电路等的可持续发展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面纳米级的活化改性，由非极性到带有一层纳米级的极性材料表层，以提高材料表面物理和化学的粘接印刷涂覆上漆性能，最贴近生活化的如制鞋业的工艺生产需求，连接器上logo的印刷等;LCD液晶显示屏表面有机物干扰材料的去除;金属表层氧化物的去除等;等离子清洗的应用例子极为广泛，而在等离子清洗设备反应腔室的电极载物托盘上进行托盘等离子有效区的整体均匀加热行程高温处理环境，在腔室四周外壁和真空门进行水冷，成为了促进等离子处理过程的有效方法。温度是等离子体产生的极重要因素，太阳及太阳风(太阳日冕)、热核聚变就是典型的例子，研究不同温度下等离子清洗系统内等离子的密度活性，处理速度及均匀性，可选择性地得到适宜的材料处理种类及厚度和处理后表面材料特性，并且不会对基材表面产生等离子损伤及热损伤，这项技术具有很大的实用意义。此方面应用需求将越来越大，尤其是持续发展与需求的半导体集成电路生产领域。
等离子清洗设备能加高温吗？
等离子清洗设备可以采用石英加热管的红外热辐射方式提高温度，其电热转换效率高，使用寿命长，且电源引线不用暴露于真空腔体及等离子处理区域内，以防止加热方式的过早疲劳损坏引起不必要的短路等隐患。加热温度可设置为较之前更高一些的温度，如300℃～400℃，最高耐温达800℃摄氏度。24707