能量被聚合物吸收后，玻璃丝印附着力标准产生化学性质非常活泼的自由基，容易与等离子体中的气体发生反应，产生挥发性气体。快离子与中性粒子碰撞产生的中性自由基在等离子体脱胶机中不断轰击样品表面，中性粒子之间进行电荷交换和能量传递，在等离子体脱胶机中进行。运动动能和振动动能以温和的方式加热表面，解离和激发产生的自由基以平移或振动的方式传递热量。如果能量超过阈值，可以用自由基团簇引起溅射。
在回转半径小的前沿电极的附近，玻璃丝印附着力检查方式考虑到部分电场强度超出的汽体的电离场强度，的汽体产生电离和激励，因而出現电晕放电。当电晕产生时，能够看见电极的附近的光，并伴有唑唑声。plasma电晕放电可以是1种比较稳定的放电方式，也能够是不均衡电场间隙穿透流程中的初期发展环节。
采用等离子体-催化共活化方式，玻璃丝印附着力检查方式促使甲烷更多地转化为目标物质C2烃。虽然等离子体多相催化效用在等离子体区、等离子体余辉区、物质收集区均可能发生，但由于脉冲电晕低温等离子处理机是在常压下工作，体系内粒子密度较大，碰撞概率高，所以其自由基等活性粒子寿命极短，主要研究等离子体区发生的多相催化效用。。
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首先谈论中频的放电等离子体清洗机,因为中频电源直接输出极板电压较高,其高自给偏压,负自给偏压引起积极的离子吸收功率,这将直接导致电极的温度板;与此同时,因为在这个过程中，离子会吸收一部分功率，所以对电子进行电离的功率吸收也相应减少，导致等离子体密度降低而离子能量升高，工艺处理温度也会略高。
如氧气等离子体形成过程即可用下列6个反应式来表示： 第一个反应式表示氧气分子在得到外界能量后变成氧气阳离子，并放出自由电子过程，第二个反应式表示氧气分子在得到外界能量后分解形成两个氧原子自由基的过程。第三个反应式表示氧气分子在具有高能量的激发态自由电子作为下转变成激发态。第四第五反应式则表示激发态的氧气分子进一步发生转变，在第四个反应式中，氧气饿饭脑子回到通常状态的同时发出光能（紫外线）。
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有足够的能量注入蒸气，使其转化为等离子体。等离子体活性成分包括：离子、电子器件、活性基团、核素（亚稳态）、光子等。低温等离子体发生器就是基于这些活性成分在样品表面实现清洁。与固体、液体和蒸气一样，等离子体是化学物质的一种情况，也被称为化学物质的第四态。给蒸汽足够的能量使其解离成等离子体。
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