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等离子发生器的种类目前，电泳后喷塑附着力不好在科学技术和工业领域应用较多的发生器有电弧等离子体发生器、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器五类。 最典型的为电弧、高频感应、低气压等离子体发生器三类。它们的放电特性分别属于弧光放电、高频感应弧光放电和辉光放电等类型。
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原子团等自由基与物体表面的反应 由于这些自由基呈电重型，存在寿命较长，而 且在等离子体中的数量多于离子，因此自由基在等 离子体中发挥着重要作用。
等离子体中出现下列产物:处于高速运动状态的电子;处于(激发态)活性状态的中性原子、分子或自由基;电离的原子和分子;未反应的分子、原子等，但产物总体上保持电中性。在真空室中，射频电源适配器在一定压力下发出光，产生高能无序等离子体，轰击清洗产品表面，达到清洗目的。真空等离子体处理设备的结构主要分为控制单元、真空室和真空泵。
2. 取决于等离子体的状态： (1) 平衡等离子体：具有高气压且电子温度和气体温度大致相等的等离子体。常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。 (2)非平衡等离子体：在低压或常压下，电子温度远高于气体温度。低压直流辉光放电、高频诱导辉光放电、大气压下DBD介质阻挡放电产生的冷等离子体等。。
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