（2）基态CO2分子吸收能量转变为激发态CO2分子，增加油漆附着力喷丸显然CO2转化主要依赖于前者。 在相同的plasma等离子体条件下，纯CH4和纯CO2的转化率分别为10.9%和9.4%， CH4和CO2共进料时CH4和CO2转化率均高于上述数值，说明CH4和CO2共进料 有利于两者的共活化。 当体系内 CO2浓度由15%增至35%时，C2烃收率略有增加；随着体系内CO2浓度的进一步增加，C2烃收率逐渐下降。
甲烷和乙烷的混合气广泛存在于天然气、油田气、精炼气、催化分解气中，增加油漆附着力喷丸乙烷的相对含量较低。分离和纯化甲烷和乙烷并单独使用它们的成本很高。实际需要使用含有一部分乙烷的甲烷作为转化反应的原料而不进行分离。我国已探明石油储量2.27×1017T，天然气储量1.97×1021M3。随着上述PLASMA资源的不断开发利用，天然气、油田气、精炼气和催化裂化气中的乙烷含量将成倍增加。
CO2添加量对等离子等离子体下CH4转化反应的影响：在O2等离子体甲烷氧化偶联反应中，增加油漆附着力喷丸O2的加入量直接影响CH4的转化率和C2烃的选择性，O2的加入量减少。 CH4的转化率如下。少量、过量添加 O2 会导致 CH4 氧化为 COx (x = 1, 2)。等离子体作用下的CO2氧化CH转化反应还包括加入适量的CO2。随着供气中CO2浓度从15%增加到85%，CH4的转化率逐渐提高，从以下结果可以看出转化率。
另外，增加油漆附着力喷丸大量的离子持续轰击基体表面，产生类似于喷丸处理的效果，导致基体表面的应力状态发生改变、产生塑性变形、促进了基体表面缺陷的产生，甚至对基体的表面粗糙度也存在着影响，继而达到了基体的表面改性。而这些基体的表面改性会降低原子的扩散激活能、提供扩散通道甚至扩散驱动力，从而促进了原子的扩散。因此，离子轰击一方面有效去除了基体表面氧化膜，起到了表面清洁作用；另一方面改变了基体表面状态，实现了基体的表面改性。
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其基本原理是：在低气压下，由ICP射频电源向环形耦合线圈输出，通过耦合辉光放电，混合刻蚀气体通过耦合辉光放电，产生高密度等离子体，在下电极RF作用下，在基片表面轰击，基片图形区域内的半导体材料的化学键被打断，与刻蚀气体产生挥发性物质，使气体脱离基片，抽离真空管道。
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