清洗和蚀刻：去除工件表面的看不见的有机污染物、表面吸附层和薄膜层。超精密清洗工艺可以解决工件表面的粘附问题。例如在清洗时，电感耦合等离子体刻蚀硅和二氧化硅比工作气体往往是氧气，它通过加速电子与氧离子和自由基碰撞后被高度氧化。工作表面上的污垢，如油脂助焊剂、感光膜、脱模剂、冲头油等很快被氧化成二氧化碳和水，用真空泵抽出，目的是清洁表面，提高润湿性和附着力。冷等离子处理只涉及材料的表面，不影响材料的大部分性能。
甲烷转化率从 43.4% 下降到 24%，二氧化硅清洗机但 C2 烃的收率从 13.4% 提高到 17.6%。 LA2O3 改善二氧化碳。转化率，但 CO 产量降低：当 LA2O3 负载量从 2% 变化到 12% 时，CH4 转化率和 C2 烃产率峰形略有变化，但对 CO2 转化率和 CO 产率影响不大。
二氧化碳转化顺序如下： NI0 / Y-AL2O3> TIO2 / Y-AL2O3> CO2O3 / Y-AL2O3> NA2WO4 /Y-AL2O3 & ASYMP; FE2O3 / Y-AL2O3> RE2O7 / Y-AL2O3 & ASYMP; CR2O3 / Y-AL2O3> MN2O3 / Y-AL2O3 & ASYMP; MOO3 / Y-AL2O3> ZNO / Y-AL2O3。
清洗等离子处理设备的目的是去除静电感应、灰尘和表面油性残留物等污染物。等离子清洗机的精细加工可以完全清洁材料表面，二氧化硅清洗机即使是小颗粒。或者它被放置在表面的孔隙结构中。它被冲走了。等离子清洗机、精细清洗、高效活化等离子清洗机不仅可用于产品清洗，还可用于蚀刻工艺、灰化、表面活性刺激等一般工业生产行业。 等离子清洗机通常用于以下应用： 1。
二氧化硅清洗机
在真空室内，高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体，等距子体撞击待清洁物体表面。达到清洁的目的。在长期致力于等离子应用技术研究和设备开发的基础上，我们充分借鉴欧美先进技术，通过与日本及海外知名研究机构的技术合作，开发出电容耦合。放电、电感耦合放电、远程等离子放电等多种放电类型产品。特有的加工腔形状和电极结构，可满足薄膜、织物、零件、粉末、颗粒等各种形状和材料的表面处理要求。
实际的电容器总是具有在低频时不明显的寄生电容，但在高频时它会超过电容本身。从磁场能量变化的角度很容易理解，当电流变化时，磁场能量也会发生变化，但能量跳跃是不可能的，体现了电感的特性。电容电流的变化可以在一定程度上延迟，增加电感可以提高电容的充/放电阻抗，延长整个电源的响应时间。固有频率点是区分谐振与电容或电感兼容性的分界点。
等离子清洗机的处理在微观水平上提高了材料表面的活性，可以大大提高涂层效果。实验表明，用等离子表面处理机对不同的材料进行处理需要选择不同的工艺参数，才能达到更好的活化效果。。等离子技术在汽车工业中的应用 1.随着汽车工业的发展，对点火线圈各方面的性能要求也越来越高。点火线圈可以增加输出。最明显的效果是在低速和中速行驶时增加扭矩。消除积碳，更好地保护发动机，延长发动机寿命。减少或消除发动机共振。
仪表板和控制板的涂层效果很差，不耐磨，可以用化学方法处理，使油漆容易脱落，但不仅改变了涂层的效果，而且仪表板等基材。它会改变性能并略微降低强度。今天，许多制造商使用等离子技术来处理这些基板。等离子冲击提高了材料表面的微观活性，可以大大提高涂层效果。实验表明，需要选择不同的工艺参数，用等离子清洗机处理不同的材料，才能达到更好的活化效果。
电感耦合等离子体刻蚀硅和二氧化硅比
实验表明，电感耦合等离子体刻蚀硅和二氧化硅比等离子处理过的塑料件在硬盘中的连续稳定执行时间显着增加，可靠性和抗碰撞性能显着提高。图为某公司硬盘塑料部件在等离子清洗机中加工的照片。 & EMSP; & EMSP; 2 耳机接收器 & EMSP; & EMSP; 耳机线圈在信号电流的驱动下驱动振膜连续振动。
