等离子体清洗的原理主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。等离子体清洗通常包括以下过程：1.无机气体被激发成等离子体态；2.气相物质吸附在固体表面；3.吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；4、产物分子分解成气相；5.反应残留物从表面除去。
用非聚合无机气体(Ar2.N2.H2.02等)等离子体进行表面反应，涂料附着力原理动画通过表面反应将指定基团引进到表面，在经过等离子体活(化)形成表面自由基的过程中，产生表面自由基，使其表面自由基位置发生进一步反应，从而产生指定基团；比如过氧化氢。较常用的是在聚合物材料表面导人含氧基团。例如-0路路-00路。也有人将胺基团引进材料表面。
利用等离子处理时会发出辉光，涂料附着力原理动画故称之为辉光放电处理。等离子体处理的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。
而等离子设备采用中频电源时，无机富锌防滑涂料附着力功率大、能量强、冷却温度高，无需加水。因此，清洗不耐温度的材料时，有必要注意温度。等离子体设备常用的电源有两种。一种是13.56khz的射频电源，产生高等离子体密度、软能量和低温。
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等离子表面清洗设备的原理是在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用射频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的离子，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁活化的目的。。
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通过活性等离子体在真空瞬时高温条件下对孔壁中的钻孔污染物、残胶、油污等污染物做好物理轰击和化学反应，使其部分蒸发或在高能离子体的冲击下破碎，使被清洗物体的表面物质变成颗粒和气体物质，通过抽真空排出，达到清洗目的。
处于等离子体状态的物质有以下几种：高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子；未反应的分子、原子等，但物质作为一个整体保持电中性。
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