这主要是由于表面催化。当颗粒进入表面时,软板等离子去胶设备它们会在表面发生化学反应,产生和释放挥发性产物。这个过程称为化学溅射。 5) 反向散射、再发射和移植。当离子或中性粒子进入固体时,与固体中的原子发生碰撞,逐渐失去原有的能量。最终,部分能量残留并从后向散射的固体表面释放出来,或者与固体原子达到热平衡并逐渐扩散到表面再释放出来,这是有可能的。这是重新发射。这些粒子沿固体深度形成分布,称为注入,尤其是在高能下。 6) 发泡。

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在没有绝缘介质阻挡的情况下,软板等离子体表面处理设备极板气隙中的带电粒子倾向于以非常快的速度向两个极板移动。很难被气流吹掉,而且当两块极板被吹掉时,每块极板都被绝缘片覆盖后,这些带电粒子会到达绝缘介质的表面而不是极板。当施加于双极板的高频交流电源电压反向时,双极板间隙中的空气在强电场的作用下再次雪崩并电离,电流立即被切断,产生一个脉冲陡峭的电流曲线。此时,基质空气中仍有带电粒子,继续向两端的极板移动。

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发射光谱的谱线特征提供了关于等离子体内部化学和物理过程的丰富信息,软板等离子体表面处理设备通过测量谱线的波长和强度,可以识别等离子体中存在的各种离子和中性基团。被识别。气压等离子清洗装置的发射光谱分为线光谱、带光谱和连续光谱。线谱和带谱是等离子体发射光谱诊断的主要依据。原子光谱通常是线性光谱。例如,氢原子的光谱是一个简单的原子光谱。有一个独立的光谱系统。可见光区只有一条线,巴尔默线。四个较亮的线具有以下光谱线。

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& EMSP; & EMSP; ③ 电弧发射区 & EMSP; & EMSP; 当电流超过10-1A且气压较高时,正柱区产生的焦耳热大于颗粒在壁面产生的热扩散 当正极柱中心的气体温度升高时,气体电导率上升,电流集中在正极中心,出现不稳定收缩现象。 & EMSP; & EMSP; 最后导电正极柱收缩到热电电流密度大的电弧称为电弧放电。

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