主权利要求:1.一种带有超高频电源的小型等离子发生器,涂层附着力拉拔试验装置包括处理管(2),处理管(2)内设有对空气进行净化的低温等离子净化装置,低温等离子净化装置包括呈方形设置的框架(4),所述框架(4)内互相平行设有若干电极(42),所述电极(42)与超高频电源相连,所述电极(42)外套设有石英管(421),所述电极(42)包括正电极以及负电极,其特征在于:所述正电极与负电极间隔设置,负电极设置在相邻两正电极连线的侧面,所述正电极固定在框架(4)的顶部,所述负电极固定在框架(4)的底部,所述框架(4)上沿石英管(421)的长度方向设有抵接杆(6)以及驱动抵接杆(6)始终与石英管(421)的端面抵接的第一弹性件,所述抵接杆(6)上设有动触点(61),所述框架(4)上与动触点(61)对应设有静触点(43),所述动触点(61)以及静触点(43)连接有报警电路。
整个清洗过程可以在几分钟内完成,所以它有高收益的特点,易于使用的数控技术,自动化程度高,高精度控制装置,高精度时间控制;正确的等离子体清洗不会产生表面损伤层,表面质量得到保证。由于是在真空中进行,涂层附着力拉拔试验装置不污染环境,保证清洗表面不受二次污染。等离子体工艺是一种干法工艺,与湿法工艺相比,它有许多优点,这是由等离子体本身的特性决定的。
在大气压脉冲等离子体表面处理装置的电晕条件下,涂层附着力拉拔试验装置C2H6的转化率和C2H2的收率随着增加而增加。能量密度的增加略微增加了C2H4的产率,但CH4的产率并没有随着等离子体能量密度的增加而变化很大。当等离子体能量密度为860KJ/MOL时,C2H6的转化率为23.2%,C2H4和C2H2的总收率为11.6%。
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涂层附着力拉拔试验
非平衡等离子体中电子的能量分布与重粒子不同,两者处于不平衡状态,因此含电子气体的温度为中性粒子和含离子气体的温度。通过这种方式,可以诱导高能电子通过碰撞激发气体分子,或者使气体分子解离和电离。上述过程产生的自由基可以分解污染物分子。等离子体的化学作用可以实现物质的化学转化。与仅依靠等离子体的热效应的分子分解相比,等离子体的化学作用被用来实现更有效的物质转化。
在确定等离子刻蚀机的放电空间时,当放电电流均匀时,在放电电流峰值附近可以拍摄到10ns的放电图像,发现放电中没有明暗放电灯丝,说明放电在空间上是均匀的,所以这种在大气压氦气中容易得到的放电是均匀放电;同时,在瞬时阴极附近可以看到高亮度的发光层,这是辉光放电的典型特征。由此可以断定,大气压氦放电属于辉光放电。
气体被电离,电离气体中含有大量的电子、离子和一些中性粒子(原子和分子),其间电子和离子的电荷大致相同,宏观上看是电中性的。或统一的感觉。以水为例。当温度低于0°C时,水看起来就像是“冰”的固体。当温度在0°C和 °C之间时,水是液体,或“水”。 ”;当温度超过 ℃时,水变成气态,或称“水蒸气”。
由于物体表面的撞击,吸附在物体表面的气体分子会被分解和吸附,大量的电子碰撞有利于化学反应。因为电子的质量很小,所以它们比离子跑得快。在低温等离子体过程中,电子比离子早到达物体表面,表面带负电荷,这有利于引发进一步的反应。。等离子体作为物质(除固体、液体和气体外)的第四种状态,是由气体部分或完全电离而产生的非凝聚系统,一般含有自由电子、离子、自由基、中性粒子等。
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