那我跟大家分享一下：根据反应类型的不同，附着力促进剂6040等离子清洗系统的清洗技术可分为两大类：等离子物理清洗，即高能射线冲击用于活性粒子污染物的使用和分离；等离子化学清洗，即反应在活性粒子和杂质分子之间，污染物被挥发分离。 (1) 激发频率对等离子清洗类型有一定影响。例：超声波等离子体（激发频率，40kHz）的大部分反应是物理反应；微波等离子体（激发频率，2.45GHz）的反应大部分是化学反应。
表3-3等离子体作用下催化剂的催化活性201催化剂转化率/%选择性/%产率/%比/molC2H6 CO2、C2H4、C2H2、C2H4和C2H2、C2H4/C2H2、H2/CONo催化剂33.8 22.7 12.4 25.4 12.7 0.48 2.3410La2O3/Y-Al2Oy 37.5 18.5 20.8 32.0 19.8 0.65 2.7410CeO2/ Y-al2o3 42.4 20.6 20.4 31.3 21.8 0.65 2.640.1Pd/ Y-al2o3 30.0 24.6 46.7 6.3 15.9 7.40 1.46注:反应条件为:催化剂投加量0.7ml，附着力促进剂6040放电功率20W(峰值电压28kV，频率44Hz)，流量25 ml/min，进料C2H6(50vol.%)， CO2 (50vol.%)。
氩本身是惰性气体，附着力促进剂6040等离子体氩不与表面发生反应，而是通过离子轰击清洁表面。典型的等离子体化学清洗工艺是氧等离子体清洗。等离子体产生的氧自由基非常活跃，容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性物质，从而去除表面污染物。等离子体2.按激励频率分类常用的等离子体激励频率有三种：激励频率为40kHz的超声等离子体、激励频率为13.56MHz的射频等离子体和激励频率为2.45GHz的微波等离子体。
我们使用13.56MHz高频电...
