首先我们要了解等离子清洗机的工作原理，增强薄膜铝层附着力等离子清洗机是通过将各种气体掺入真空室体,将室内压力控制在设定的范围内,通过控制加载在真空室内高压极板间的电压,将气体电离,产生辉光放电,真空室内的高能等离子轰击工件,工件表面的分子激发、离解或电离,去除氧化物、水分和有机污物,增强衬底结合力。
主要是实现物体表面化学反应过程中的能量传递&ldquo；激活&rdquo；功能；电子对物体表面的作用主要包括两个方面：一方面是对物体表面的撞击，Al能够增强薄膜附着力吗另一方面通过大量电子撞击引起化学反应；离子溅射图像实现对物体表面的处理；紫外线通过光能使物体表面的分子键断裂分解，增强穿透能力。
因此，增强薄膜铝层附着力通过 在线式等离子清洗可以有效清(除)键合区的污染物， 提高键合区的粘结性能，增强键合强度，可以大大降(低)键合的失效率。 铜引线框架的在线式等离子清洗： 引线框架作为封装的主要结构材料，贯穿了整 个封装过程，约占电路封装体的80%，是用于连接内部芯片的接触点和外部导线的薄板金属框架。
NiO / Y-Al2O3> ZnO / Y-Al2O3 ≈ MoO3 / Y-Al2O3> Re2Q7 / Y-Al2O3> TiO2 / 7-Al2O3 ≈ Cr2O3 / Y-Al2O3 ≈ Mn2O3 / Y-Al2O3> Na2WO4 / Y-Al2O3 ≈ FeO3 / Y-Al2O3> Co2O2 / Y-Al2O3。
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