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MgO表面改性

请记住,mgo表面改性处理效果好磁隧道结的形状不仅会影响设备的性能,还会影响等离子清洁器的蚀刻过程。例如,蚀刻圆柱形或环形图案相对容易。报道的磁性隧道结所用材料含有Fe、Co、Ni、Pt、Ir、Mn、Mg等金属元素,通常为1nm左右的单层材料,由5~10层构成。 (合金或金属氧化物)。因此,磁记忆等离子清洗机等离子刻蚀面临的挑战是: (1) 常规反应等离子体(RIE)面临金属蚀刻副产物不挥发的问题。

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(2)真空泄漏试验。在手动检漏状态下,mgo表面改性处理效果好开启真空泵10min,记录下较低的真空值,然后手动关闭真空电磁阀,同时开启检漏按钮,数值为每分钟3.2Pa/min≤6.0Pa/min,为合格。(3)咬蚀试验:7~14mg/min合格。(4)均匀性试验:75%以上为合格。(5)运行测试:运行24小时,无一例外。。

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