1、等离子设备等离子体蚀刻对HCI的影响 等离子设备等离子体蚀刻工艺可靠性中的HCI指的是高能量的电子和空穴注入栅氧化层而引起器件性能退化。注入时会产生界面态和氧化层陷阱电荷,造成氧化层的损伤,随着损伤程度的加深,器件的电流电压特性发生变化,当器件参数的变化超过一定限度后,器件就会失效。热载流子效应的抑制主要依靠选择合适的源漏离子注入浓度和...
2、等离子清洗机 CIF(广东非标生产等离子清洗机腔体什么价格) 它也是 PEG 结构中 CO 键的特征吸收峰,等离子清洗机 CIF表明沉积的表面层。它具有类似PEG的结构。 1780.21CM处的吸收峰表明存在CO键,表明在形成类PEG结构的过程中发生了部分交联反应。将等离子处理机清洗后的铝板上的细菌附着量与改性前进行比较。用等离子加工机加工后的细菌附着力大大降...
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