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Ar和氦的性能稳定,eva材料附着力解决方法放电电压低(Ar原子的电离能E为15.57eV),容易形成亚稳态原子。首先,等离子处理器利用其高能粒子的物理功能来清洁容易氧化或还原的物体。Ar+轰击污垢,形成挥发性污垢,用真空泵抽离,避免表面板反应。

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