CO应来自等式（4-6）：CO2&RARR；CO+0.5O2ΔH2=283kJ/mol(4-6)显然，3kw电晕机反应（4-5）和（4-6）是吸热反应，它们的能量效率是&埃塔；C2=[(ΔH1×Yc2×F)/P]x(4-7)&埃塔；Co=[(ΔH1×Yco×F)/P]x(4-8)其中P为电晕电晕功率（kJ/s）；F为原料气体的摩尔流量（mol/s）；P/F为能量密度（kJ/mol）。
从电晕刻蚀的电压、电流波形和侧面发光可以看出，3kw电晕机工频约33kHz，气隙厚度约6mm，正极在上，负极在下。此外，对比电压、电流波形和侧面发光图可以看出，氦和氦DBD非常相似，只是它们的正柱区不明显，而法拉第暗区几乎没有。由气隙电压波形可以计算击穿强度。6mm气体击穿强度为1kV/cm，远低于大气压下30kV/cm气体击穿强度。这种低击穿场强是电晕刻蚀机常压下氦气和气体均匀放电的保证。
这种电晕具有一些显著的特征：1.气体产生辉光现象，hg3kw电晕处理器故障也就是常说的“辉光放电”。由于是真空紫外光，对刻蚀速率有非常积极的影响。2.气体中含有中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子的温度在102-103K之间，与电子能量对应的温度高达105K，所以它们被称为“非平衡电晕”或“冷电晕”。但它们是电中性和准中性的。
火花放电：电晕表面清洗剂在高压下也有火花放电和电晕放电(Pd大于1500mmHg.mm)；但火花放电与电晕放电的区别在于其电场均匀，hg3kw电晕处理器在电源不太大的情况下由汤逊放电过渡到火花放电。火花放电也是一种自持放电。在大气压下，火花放电的点火电压等于点火电压，也称为火花电位。当其他条件不变时，火花放电决定了电极之间的距离。这种方法类似于电晕表面清洁器的调节电极距离。
