1、等离子清洗微波（体积为10l,通入气体为氩气,流量100ml/min,等离子清洗机的） 由于等离子体中存在电子、离子和自由基等活性粒子，等离子清洗微波它们很容易与固体表面本身发生反应。反应的种类分为物理反应和化学反应。物理反应被气体带走，因为它们主要以冲击的形式从表面去除污染物。在化学反应中，活性颗粒和污染物会产生并去除挥发物。”在实际使用过程中，通常使用Ar气进行物理反应，使用O2或...
