在玻璃盖上使用超声波清洗通常会留下许多肉眼看不见的有机化合物和颗粒，o2等离子刻蚀无疑给下一步的处理步骤留下了风险。等离子清洗机可以更好地清洗玻璃盖板。清洗玻璃盖板表面的主要作用是活化，将有机污染物化学转化为碳氢化合物、CO2和水，并从表层去除。加快下一阶段的玻璃盖板加工、蚀刻、镀膜、粘接等加工工艺，进一步提升产品认证。玻璃盖表面的涂层也称为玻璃盖喷涂。在5G制造业中，使用表面涂层，如表面涂层和手机盖的表面涂层。
低温等离子表面技术工艺有：(1)物理反应：基本形式是纯物理冲击，co2等离子体plasma表面处理将原子或粘在塑料材料表面的原子击落，如果要以物理反应为主，则必须通过压力控制来做出反应，使清洗效果达到预期。(2)化学反应：机理主要是利用等离子体中的自由基对相关材料表面实行化学反应，化学中常用的气体有氢(H2)、氧(O2)、氩(Ar)等，这些气体能进一步反应为高活性自由基，与塑料材料表面发生反应。
该装置利用高频和高压的能量，co2等离子体plasma表面处理在真空等离子体去胶反应室内电离生成氧离子和游离氧原子。氧分子和电子等混合的等离子体，其中游离态氧原子具有较强的氧化能力(约10-20%)，在高频电压下与晶圆光刻胶膜发生反应：O2→O*+O*,CxHy+O*→CO2↑+H2O↑。合成的CO2和H2O，反应后，...
