腔体侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、临界尺寸、侧面翘曲、等离子等离子输出受改变等离子特性的影响的清洁工。调整关键的等离子体特性,pp底材附着力增进剂通过调整等离子体内部和晶圆表面发生的化学和物理反应过程来优化蚀刻结果。
等离子洁净作用与密度和电子溫度有关,聚酯树脂对pp底材附着力如密度越大清洗速率越快,电子溫度越高,洁净作用越好。所以,低压等离子洁净工序的选择是非常重要的。(2)汽体类型:被加工目标的板材及其表层污物具备多样化,而不同汽体释放电能引起的等离子洁净速率和洁净作用则相差很大。所以应有针对性地选择等离子工作汽体,例如,氧等离子表层的油污污垢,采用氢氩混合气plasma清洗机来去除氧化层。
电流的大小是由相对应的两个下行线路电阻R1和R2的电源负载特性曲线和放电特性曲线的交点(操作分A、B和C) .Dark当前areaUnder电场加速的状态,电子获得足够的能量,通过与中性分子碰撞,聚酯树脂对pp底材附着力新生成的电子数量迅速增加。电流增加到10-7 ~ 10-5安培小时,在阳极附近出现一层很薄的发光层。
等离子清洗后的材料表面无油污,聚酯树脂对pp底材附着力无需再加工,提高了整个工艺的加工效率。操作员可以避免有害溶剂的损坏。因此,它被完全(完全)洗涤。清洁物品不需要过多考虑形状,也可以处理多种材料。特别适用于不耐高温且不含溶剂的材料。因此,等离子清洗技术受到了极大的关注。