另两种常用的气体是氩气和氦气，ps表面附着力助剂具有击穿电压低、等离子稳定等优点，其中氩原子的电离能ε为15.75eV，氩等离子中含有大量的亚稳态的原子，是理想的物理反应气体。 在实际清洗中，单一的利用物理或化学作用效果欠佳，更多是充入混合气体，同时利用两种或以上的混合气体以得到更好的清洗效果。
等离子体表面处理材料的表面改性可分为化学改性和物理改性。化学改性是指使用化学药剂改善材料表面形态，如何提高ps表面附着力包括酸洗、碱洗、过氧化物或臭氧处理。物理改性是指利用物理过程改善材料的表面形态，包括表面处理、光辐射处理、火焰处理、机械力化学处理、涂层处理以及添加表面改性剂等。等离子体表面处理技术(PSU)作为一种新型的材料表面处理技术，以其低能耗、低污染、处理时间短、效果明显等优点受到人们的广泛关注。
PFM的主要作用是有效控制进入等离子体的杂质，ps表面附着力助剂有效去除辐射到材料表面的热功率，以及其他元件在异常停机时受到等离子体冲击造成的损坏，起到保护作用。同时，面向等离子的材料必须与反应堆的使用寿命、可靠性和维护性相一致。因此，等离子材料面临的一般要求是耐高温、低溅射、低氢（氚）保留以及与结构材料的相容性。碳基材料和钨是最有前途的PsFM 候选材料。对于 PFM，有两个问题需要解决。
低温等离子表面清洗设备不仅可以处理注塑壳体留下的油污，如何提高ps表面附着力还可以活化成型壳体表面，加强其印刷、涂布等粘接（效果），使壳体上的涂层与基材连接牢固，涂布效果均匀，美观更美观，耐磨性大大提高，长期使用也不会出现涂布现象。同时，低温等离子体表面清洗设备产生的电离等离子体是电中性的，不会损伤保护膜、ITO膜和偏振滤光片。该技术采用/低温等离子体表面清洗装置，可实现无化学溶剂的在线清洗。。
