同时产生的凹凸不平和切割一定深度孔洞的表面材料形成细小颗粒的气体成分成为反应性官能团（或官能团），r22对铜的附着力使表面发生物理和化学变化。可去除污垢，提高镀铜的附着力。在等离子体化学反应中，起化学作用的粒子主要是阳离子和自由基粒子。自由基在化学反应过程中能量转移的“活化”，被激发的自由基具有更高的能量，与表面分子结合时，更容易形成新的自由基。
气体成分成为反应性官能团（或官能团），铜的附着力使材料表面发生物理化学变化，去除污垢，具有镀铜的附着力。在等离子体化学反应中，起化学作用的粒子主要是阳离子和自由基粒子。化学反应过程中自由基能量转移的“活化”效应。被激发的自由基具有很高的能量，当与表面分子结合时，它们往往会形成新的自由基。新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，可能会引起分解反应，生成新的自由基，同时变成小分子。
高真空室中的气体分子受到电能的激发，r22对铜的附着力加速后的电子相互碰撞，激发原子或分子的外电子而脱离轨道，导致反应性相对较高的离子和自由基发生。这样产生的离子和自由基在电场的作用下被加速并不断碰撞，与材料表面碰撞，破坏了分子间原有的结合方式，在几个微米的深度和孔内恒定。材料形成细小的凹痕和凸起。气体成分成为反应性官能团（或官能团），使材料表面发生物理化学变化，去除污垢，具有镀铜的附着力。
这样生成的离子、自由基继续相互碰撞和被电场加速，铜的附着力并与材料表面相互冲撞，破坏数微米深度的分子间原有的结合方式，削去孔内一定深度的表面物质形成微细凹凸，同时产生的气体成分成为反应性官能基(或官能团)，它们诱导物质表面发生物理、化学变化，因此能够除去钻污从而能够提高镀铜的结合力。 在等离子体化学反应中，起到化学作用的粒子主要是正离子及自由基粒子。
铜的附着力<...