1、等离子体沉积薄膜（等离子体表面处理系统(oxygen plasma cleaner)） 等离子体方法加工的片心分辨率及保真度都高，等离子体沉积薄膜对提高集成度及可靠性均有利。 等离子体沉积薄膜用等离子体聚合介质膜可保护电子元件，用等离子体沉积导电膜可保护电子电路及设备免遭静电荷积累而引起损坏，用等离子体沉积薄膜还可以制造电容器元件。在电子工业、化学工业、光学等方面有许多应用。①等离子体...
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