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此外,为方便用户,等离子表面处理器也有安全连锁功能,用户可以根据需求,设备生产线主动控制装置,一旦没有包装盒子的生产线,立即主动停止喷涂等离子体,等离子体表面处理时间后的包装盒子,积极地喷射出plasmaThere真空等离子体处理器,一个密封的腔体内设置电极,在真空泵的作用是机舱空气压力5 - 10毫托,然后在高频发生器的影响,等离子体之间的电极,然后在样品的表面处理,达到改变活动外观的意图。

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蚀刻条件为氧气70SCCM、氩气混合物30SCCM、偏压150W、压力55MT,百格刀附着力5所用光刻胶为20M厚AZ4620旋涂2次图案。在这些条件下,石墨烯的蚀刻速率约为 NM/min,但光刻胶 AZ4620 的蚀刻速率为 330 NM/min,需要更厚的光刻胶或 3 层掩模结构。幸运的是,这种情况不适合非晶态。碳蚀刻速率约为每分钟20纳米,可用作石墨烯蚀刻的阻挡层。

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