表面反应产生挥发性副产物，漆层附着力实验由真空泵抽出。吸尘器没那么复杂。根据电源频率，以40KHZ和13.56MHZ为例。正常情况下，物料在一个腔体中运行，频率为40KHZ，典型温度小于65°，机器配备强大的冷却风扇。如果处理时间不长，表面温度将与材料在室温下相同。 13.56MHZ的频率会低一些，一般小于30°。因此，在处理容易受热变形的材料时，低温真空等离子清洗机是合适的。等离子真空吸尘器工作时，腔内的离子是定向的。
功率大可以做几十KW，漆层附着力实验甚至从理论上讲，几百KW，经常用来去除残胶，蚀刻，如果真空等离子清洗机使用中频电源，就需要水冷却，这也是常用的等离子电源。大气压旋转喷射火焰射频等离子清洗机温度与室内天气温度大致相同，当然，如果真空机整天不间断使用，还是有必要添加水冷却系统。等离子体射流的平均温度约为200-250°C。如果间距和速度设置正确，表面温度可以达到70-80°C左右。
后者除了供轴向工作气外,还像电弧等离子体炬气稳弧一样,切向供入旋转气流以冷却并保护放电室壁(通常用石英或耐热性较差的材料)。 高频等离子体炬在工业中已有多方面的应用，漆层附着力视频特别是在等离子体化工、冶金和光学材料提纯等方面。它还可制备超导材料，如用氢高频等离子体还原钒－硅（或钒－锗），铌－铝（或铌－锗）的氯化物蒸气以制备超导材料。
