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为什么隧道附着力减小

关于Te大大高于Ti和Tn的场合,隧道附着力为什么很小即低压气体的场合,此刻气体的压力只有几百个帕斯卡,当采用直流高压或高频电压做电场时,因为电子自身的质量很小,在电场中容易得到加速,然后可取得平均可达数电子伏特的高能量,关于电子,此能量的对应温度为几万度k,而离子因为质量较大,很难被电场加速,因而温度仅有几千度。因为气体粒子温度较低(具有低温特性),因而把这种等离子体称为低温等离子体。

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当电子输运到表面清洗区域时,隧道附着力为什么很小与清洗表面吸附的污染物分子发生碰撞,会促使污染物分子发生分解而产生活性自由基,这会有利于引发污染物分子的进一步(活)化反应;而且,质量很小的电子比离子运动要快得多,因此电子要比离子更早到达物体表面,并使表面带有负电荷,从而有利于引发进一步(活)化反应。

在均匀等离子体中,为什么隧道附着力减小离子和电子电流在一个射频周期内部分平衡,栅氧化电位很小。但在非均匀等离子体中,局域电位不平衡会在晶圆表面产生电流路径,造成栅氧化层损伤。(3)电子遮蔽效应(电极遮蔽效应)。等离子体中的电子比离子的方向性小也就是说,电子的入射角分布比离子的入射角分布大,更容易被光刻胶屏蔽,正离子聚集在刻蚀前端对器件形成正电位。(4)反向电子遮蔽效应。

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