(3)电极和接地装置在真空室中施加高频电压，附着力和自交联结构使蒸气体击穿，通过辉光放电产生电离和等离子体。将真空室产生的等离子体全部覆盖，开始对加工工件进行清洗操作。通常清洗过程持续数十秒到分钟。清洗完毕后，将蒸汽体泵入真空室，切断高频电压，将蒸汽体的污物和蒸发排出。
通过该装置在密封容器内设置两个电极形成电场，电极上的附着力和电极电位通过真空泵实现真空。随着气体越来越稀薄，分子结构与分子结构或离子自由运动的距离也越来越远。它们在电场作用下与等离子体碰撞形成等离子体。它的活性极高，能量转换足以破坏几乎所有离子键的大部分，在暴露的表层发生化学反应。当处于真空状态时，通过等离子体对工件表面层进行化学或物理处理，可以去除分子结构水平（通常厚度为3-30纳米）。
等离子体处理原理对一组电极在射频电源上，附着力和自交联结构形成高频交变电场，在交变电场的发酵下，电极之间形成气体区域，形成等离子体，而等离子体的活性则是对表面进行物理轰击和化学反应的双重作用，使表面被清洗的物质变成颗粒和气态物质，经过真空放电，从而达到表面处理的目的。等离子体通常被称为物质的第四态。前三种状态是固体、液体和气体。它们相对常见，存在于我们周围。等离子体只存在于地球上的特定环境中，比如闪电和极光。
等离子体处理通常是导致表面分子结构发生变化或表面原子被替换的等离子体反应过程。即使在氧气或氮气等惰性气氛中，电极上的附着力和电极电位等离子体处理也可以在低温下产生高反应性基团。在这个过程中，等离子体也会产生高能紫外光。它与产生的快离子和电子一起，可以破坏聚合物键并产生表面化学物质。它提供必要的能量。这种化学过程只涉及材料表面的一个小原子层，聚合物的整体特性可能保持可变形。
附着力和自交联结构
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