早期采用CCl2F2气体进行刻蚀，材料的亲水性和疏水性但由于选择比和等离子体对底层膜的损伤，开发了两种气体等离子体组合刻蚀方案:CHF3+BCl3和CF4+BCl3。实际上，这两种方案都实现了更快的刻蚀速率和对InAlAs的高选择比，并且更容易在低压和高射频功率下实现。两种相似材料的不同腐蚀速率是由于反应产物的挥发性不同造成的。GaCl3和AsCl3均较易挥发，而AlCl3较难挥发，会影响进一步蚀刻。
这样，材料的亲水性取决于什么集成IC的电源插头在负载下的电压就会随着瞬态电流的变化而波动，也就是电源的阻抗噪声。。PLASMA器具的表面处理工艺不仅可以刺激表面，还可以保持PTFE的材料性能。 1.汽车发动机半轴油封作为防止发动机漏油的关键部件。它由各种汽车发动机制造商评估。聚四氟乙烯具有耐热、耐腐蚀、不粘连、自润滑、绝缘性好、摩擦系数低等特性。是制造油封的主要原料之一。然而，未经处理的 PTFE 表面层反应性较低，难以与金属粘合。
下面就低温等离子清洗机在这些行业的应用做一个说明：一、汽车产业1.汽车锂电池极片焊接2.汽车保险杠、刹车片粘接前处理3.汽车EPDM密封条的前处理二、塑料产业1、PVC、PP、PET、PE等塑胶材料的印花、粘接预处理2.塑料玩具印花喷漆前处理3.塑料瓶印刷前处理，材料的亲水性和疏水性提高表面附着力，不易掉漆三。
