CD损耗严重；除上述问题外，亲水性纳米二氧化硅涂层等离子清洗机等离子表面处理机蚀刻后切割方法在侧壁有氮化钛或氧化硅残留物。延长蚀刻时间后，上述残留物被去除，但氮化钛顶部被严重损坏。使用各向异性蚀刻（例如使用 C4F8 / AR 进行氧化硅蚀刻或使用 CL2 / N2 进行氮化钛蚀刻的低压、高偏置功率）可以改善两种工艺中的 CD 损耗。氮化钛的轮廓形状，一个副作用是基板材料的严重损失。
其他装饰膜通常使用光的另一个特性，亲水性纳米二氧化硅涂层即干涉。这个属性都与蓝色和紫色有关。当氧气量达到一定水平时，薄膜就会分层。这取决于薄膜的厚度。下表的大小。氧化钛膜厚0.400 微米0.43 微米0.47微米0.53 微米0.58 微米颜色紫色的浅蓝蓝色的绿色黄色的当然，还有其他层可以达到这种干涉效果。例如，氮化硅或氧化硅。有关详细信息，请参阅下表。
等待离开Al203-13%氧化钛陶瓷涂层的子喷镀因其硬度高，亲水性纳米二氧化硅涂层由于耐磨性和耐腐蚀性好，已广泛应用于防滑方面。摩擦力涂层和耐蚀性涂层。李兴成等人采用凹等。 AZ31镁合金表面离子喷涂工艺制备Al203-13%，对镁合金的基体和喷涂进行了陶瓷复合涂层的对比研究。在5%NaCl溶液中，陶瓷涂层样品的耐腐蚀性能，试验结果表明，涂层镁合金具有较好的硬度和耐蚀性。而当腐蚀液通过涂层的孔隙处时，镁合金则相反。
