新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，二氧化钛的表面超亲水性很可能发生分解反应，在变成更小分子的同时生成新的自由基。这一反应过程可能会持续下去，最终分解成水和二氧化碳等简单分子。还有的情况是，自由基与物体表面的分子结合时，会释放出大量的结合能，而结合能又成为引发新的表面反应的驱动力，从而引发物体表面物质的化学反应而被清除。。
而射频等离子体（激发频率13.56MHz)则属于物理和化学双响应型。（2）工作气体的种类对等离子体清洗的种类也有一定的影响。例如，二氧化钛的表面超亲水性主要利用Ar2、N2等惰性气体产生的等离子体进行物理清洗，通过脱壳效应清洗数据的外观；而O2、H2等反应气体产生的等离子体主要用于化学清洗。凭借活性自由基与污染物（多为碳氢化合物）的化学反应，生成一氧化碳、二氧化碳、水等小分子，并从数据表面去除。
周等人。利用介质阻挡放电实现CO2重整CH4。当注入能量为87kW时。H/(nm3)，超亲水性超疏水性甲烷转化率为64%，二氧化碳转化率为54%。加仑等。和品豪等人。分别研究了CH4和CO2在DBD放电等离子体作用下的重整反应。结果表明，重整反应的主要产物是合成气，只生成少量烃类（主要是C2H6)。但是在DBD放电等离子体作用下的CH4和CO2重整反应的反应物转化率较低，能耗很高。李等人。
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