干燥无油压缩空气是更常用的工艺气体。将等离子体表面处理设备和未经处理的工件浸泡在水(极性溶液)中，表面张力越大亲水性效果令人印象深刻。对于未处理的部分，水滴形成正常的形状。被加工部件的被加工部件将被水充分浸透。三、等离子体发生器在玻璃、陶瓷中也能起到作用:玻璃、陶瓷瓶具有与金属相似的性质，有效时间短，通常采用压缩空气作为工艺气体。增强其印刷或粘接能力。等离子体发生器清洗的目的是去除表面的有机污染物。
这类污染物的去除方法主要是物理或化学方法底槽粒子,逐渐减少与圆板表面的接触面积,最后删除Z.1.2有机matterThe有机杂质的来源更广泛,如人体皮肤油脂、细菌、石油机械、真空油脂,光刻胶、清洗溶剂等此类污染物一般会在晶圆表面形成有机膜，表面张力越大亲水性越强阻止清洗液到达晶圆表面，导致晶圆表面清洗不彻底，从而造成晶圆片表面的金属杂质和其他污染物经过清洗后仍然完好无损。
当向气体施加足够的能量以使其电离时，表面张力越大亲水性它就会变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子表面处理设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。等离子表面处理体是物质存在的状态。通常，一种物质以三种状态存在：固体、液体和气体，但也可能存在第四种状态，例如地球大气电离层中的物质。
