在直流电压的作用下，附着作用和附着力正负电晕均在尖端电极附近积聚空间电荷。在负电晕中，当电子引起碰撞电离时，它们被驱离尖端电极并形成负离子，而正离子积聚在电极表面附近。随着电场继续增强，正离子被吸引到电极和脉冲电晕电流出现，而负离子扩散到间隙空间。然后重复电离和带电粒子的过程。这种循环使许多电晕电流脉冲出现。电晕放电可以在大气压下工作，但需要足够高的电压来增加电晕处的电场。
优点 1、等离子清洗后，附着作用和附着力被清洗物干燥，无需进一步干燥即可送入下道工序。可以提高整个工艺线的加工效率。 2.等离子清洗使用户远离人体中的有害溶剂。第三，该清洗方式避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，防止清洗后有害污染物的产生，是一种环保的绿色清洗方式。随着世界对环境保护的极大兴趣，这一点变得越来越重要。第四，无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。
当硅电极厚度降低到一定程度时，附着作用和附着力需要更换新的硅电极。因此，硅电极是晶圆蚀刻工艺的核心耗材。随着半导体产业的发展，芯片的线宽不断缩小，硅芯片的规模不断扩大。芯片线宽由130nm、90nm、65nm逐渐发展到45nm、28nm、14NM，达到了7nm先进制造工艺的技术水平，同时硅片已经从4英寸、6英寸、8英寸发展到12英寸，未来将突破到18英寸。
等离子清洗机的关键是低温等离子体的应用，附着作用和附着力它主要依赖于高温、高频、高能等外界条件产生，是一种电中性、高能量、全部或部分离子化的气态物质。低温等离子体的能量约为几十电子伏特，其中所包含的离子、电子、自由基等活性粒子以及紫外线等辐射线很容易与固体...
