超声波清洗：众所周知，什么是纵向附着力系数人们听到的声音是频率为20～20000Hz的声学信号。20000Hz以上的声波称为超声波，声波的传输按照正弦曲线纵向传播，即一层强一层弱，依次传输。当微弱的声信号作用于液体时，会对液体产生一定的负压，这种负压会在液体中形成许多微小的气泡。当强声信号作用于液体时，会对液体产生一定的正压力，从而使液体中形成的微小气泡被粉碎。
改变等离子清洗机的等离子体特性会影响输出结果，纵向附着力系数如空腔侧壁状态、宏观刻蚀不均匀性、刻蚀与聚合物沉积、微观刻蚀不均匀性、纵向和横向刻蚀、图形侧壁保护层、临界尺寸、侧面畸变和等离子体诱导损伤。通过调整等离子体内部和晶圆表面发生的化学和物理反应过程来调整重要的等离子体特性，从而优化蚀刻结果。为了更好地控制等离子体的这些特性，通常对电子能量分布(EED)和离子能量分布(IED)进行控制。
超声波清洗：众所周知，什么是纵向附着力系数人们听到的声音是频率为20～20000Hz的声学信号。20000Hz以上的声波称为超声波，声波的传输按照正弦曲线纵向传播，即一层强一层弱，依次传输。当微弱的声信号作用于液体时，会对液体产生一定的负压，这种负压会在液体中形成许多微小的气泡。当强声信号作用于液体时，会对液体产生一定的正压力，从而使液体中形成的微小气泡被粉碎。
目前的工业活动几乎可以处理任何国产等离子清洗机，纵向附着力系数因此无需选择昂贵的国外等离子清洗机，效果与国内相同。例如，国内低温
