传统的等离子蚀刻技术主要在真空室的低压环境中进行。作为多年研究和改进的结果，附着力是什么材料这项技术已日新月异。天。但是，由于真空装置本身的限制，在使用过程中不仅装置和维护成本高、操作不便，而且被处理物体的尺寸也受到真空腔体的限制。实现规模化工业生产并非易事。近年来，材料能否在常压下进行蚀刻备受关注。近年来，针对微电子刻蚀工艺开发了几种新的大气压高频冷等离子体处理放电装置。
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早在 1927 年，铝板上的附着力是什么材料研究人员就在高压电场中发射汞蒸气时发现了等离子体。后一项发现是能够通过各种形式（例如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或冲击波）将低压气态材料转化为等离子体状态。例如，氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子在高频电场中处于低压状态，在辉光放电的情况下可以分解为加速的原子和分子。 ，而产生的电子又解离成带正电荷和负电荷的原子和分子。
利用等离子体发生器改造任何表层的能力是安全、环保和经济的。等离子体发生器是许多行业面临的挑战问题可行性的解决方案。。等离子体清洗广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物、微观流体学等领域。
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